Fatiga en sistemas micro-electro mecánicos (MEMS) capacitivos

Autores
López Montenegro, Hugo; Amone, Leonardo; Rabini, Miguel
Año de publicación
2011
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
documento de conferencia
Estado
versión publicada
Descripción
Los sistemas micro-electro mecánicos (MEMS) han sido investigados y aplicados en varias áreas de aplicación tecnológica. Hoy en día la producción de (MEMS) constituye una de las ramas de la industria de más rápido crecimiento. Las aplicaciones de los MEMS en telecomunicaciones e instrumentación han atraído la atención en los últimos años principalmente por utilizar los procesos ya conocidos de fabricación de semiconductores. Un microsistema usual, capaz de actuar como sensor capacitivo, es el llamado ‘comb-drive’. El campo de aplicación de estos dispositivos se está incrementando continuamente. Ya son parte esencial en sistemas críticos de seguridad, como por ejemplo, la industria automotriz o la aeronáutica, por tanto, estudiar la vida útil de los MEMS es de gran interés. En este trabajo se detalla una técnica posible que puede ser utilizada para medir el avance de la fatiga en un MEMS capacitivo tipo ‘comb drive’.
Centro de Técnicas Analógico-Digitales
Materia
Ingeniería
MEMS
Fatiga
Fractura mecánica
Comb drive
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
Repositorio
SEDICI (UNLP)
Institución
Universidad Nacional de La Plata
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