Comb Drive Designs With Minimized Levitation

Autores
del Corro, P. G.; Imboden, M.; Bishop, D. J.; Pastoriza, H.
Año de publicación
2016
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión aceptada
Descripción
Fil: del Corro, P. G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Imboden, M. École Polytechnique Fédérale de Lausanne. Microsystems for Space Technologies Laboratory; Suiza
Fil: Bishop, D. J. Boston University. Department of Electrical and Computer Engineering; Estados Unidos; Boston University. Department of Physics; Estados Unidos
Materia
MEMS
LEVITACION
SUBSTRATOS
MEMS
Comb drives
Levitation
Actuators
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
Repositorio
Nuclea (CNEA)
Institución
Comisión Nacional de Energía Atómica
OAI Identificador
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