Comb Drive Designs With Minimized Levitation
- Autores
- del Corro, P. G.; Imboden, M.; Bishop, D. J.; Pastoriza, H.
- Año de publicación
- 2016
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- artículo
- Estado
- versión aceptada
- Descripción
- Fil: del Corro, P. G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Imboden, M. École Polytechnique Fédérale de Lausanne. Microsystems for Space Technologies Laboratory; Suiza
Fil: Bishop, D. J. Boston University. Department of Electrical and Computer Engineering; Estados Unidos; Boston University. Department of Physics; Estados Unidos - Materia
-
MEMS
LEVITACION
SUBSTRATOS
MEMS
Comb drives
Levitation
Actuators - Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- Repositorio
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- Institución
- Comisión Nacional de Energía Atómica
- OAI Identificador
- oai:nuclea.cnea.gob.ar:20.500.12553/5511
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