Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners
- Autores
- del Corro, P.G.; Imboden, M.; Pérez, D.J.; Bishop, D.J.; Pastoriza, H.
- Año de publicación
- 2018
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- artículo
- Estado
- versión aceptada
- Descripción
- Fil: del Corro, P.G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Imboden, M. École Polytechnique Fédérale de Lausanne. Microsystems for Space Technologies Laboratory; Suiza
Fil: Pérez, D.J. Boston University. Division of Material Science; Estados Unidos
Fil: Bishop, D.J. Boston University. Division of Material Science; Estados Unidos; Boston University. Department of Electrical and Computer Engineering; Estados Unidos; Boston University. Department of Physics; Estados Unidos - Materia
-
MEMS
MICROSCOPIA DE EFECTO TUNEL
MICROSCOPIA DE FUERZA ATOMICA
Comb drives
Nanopositioners
Capacitive detection - Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- Repositorio
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- Institución
- Comisión Nacional de Energía Atómica
- OAI Identificador
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