Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico
- Autores
- Flores, Gustavo M.; Remirez, Luis P.; Hecker, Rogelio L.; Villegas, Fernando J.
- Año de publicación
- 2017
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- documento de conferencia
- Estado
- versión publicada
- Descripción
- En este trabajo se presenta el diseño e implementación de un dispositivo para posicionamientos de precisión con un rango de desplazamiento de 18 micrones y resolución nanométrica. Para la etapa de diseño se impuso que el ancho de banda de lazo cerrado sea relativamente alto, en el orden de 100 Hz. El sistema de guiado es del tipo “flexure stage” y es accionado por un piezoeléctrico. El ancho de banda especificado requiere de una rigidez del sistema tal que el primer modo de vibración del conjunto sea al menos 10 veces superior. Por otro lado, las exigencias de alineación del piezoeléctrico, para evitar esfuerzos de tensión destructivas, conducen a la utilización de acoples del tipo esfera-superficie plana. El trabajo presenta el proceso de diseño del sistema de posicionamiento y el efecto que introduce el método de montaje. Tanto la rigidez del flexure como la del acople provocan una disminución del recorrido útil del actuador. Además el sistema de montaje introduce una disminución en la frecuencia de resonancia del conjunto en la dirección de actuación y modos normales laterales adicionales. Para el diseño se utilizaron herramientas de cálculo y simulación por elementos finitos. Se presenta el análisis del contacto bolilla-superficie plana, cuyos resultados se comparan con las ecuaciones de Hertz. Finalmente se presentan resultados experimentales para condiciones de posicionamientos a lazo abierto de tipo estáticos y se comparan con los obtenidos por simulación.
Publicado en: Mecánica Computacional vol. XXXV, no. 4
Facultad de Ingeniería - Materia
-
Ingeniería
Mecanismos flexibles
Piezoelétricos
Diseño - Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
- Repositorio
- Institución
- Universidad Nacional de La Plata
- OAI Identificador
- oai:sedici.unlp.edu.ar:10915/94274
Ver los metadatos del registro completo
id |
SEDICI_5f7625671e14e210f6637a7c57facb42 |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:sedici.unlp.edu.ar:10915/94274 |
network_acronym_str |
SEDICI |
repository_id_str |
1329 |
network_name_str |
SEDICI (UNLP) |
spelling |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométricoFlores, Gustavo M.Remirez, Luis P.Hecker, Rogelio L.Villegas, Fernando J.IngenieríaMecanismos flexiblesPiezoelétricosDiseñoEn este trabajo se presenta el diseño e implementación de un dispositivo para posicionamientos de precisión con un rango de desplazamiento de 18 micrones y resolución nanométrica. Para la etapa de diseño se impuso que el ancho de banda de lazo cerrado sea relativamente alto, en el orden de 100 Hz. El sistema de guiado es del tipo “flexure stage” y es accionado por un piezoeléctrico. El ancho de banda especificado requiere de una rigidez del sistema tal que el primer modo de vibración del conjunto sea al menos 10 veces superior. Por otro lado, las exigencias de alineación del piezoeléctrico, para evitar esfuerzos de tensión destructivas, conducen a la utilización de acoples del tipo esfera-superficie plana. El trabajo presenta el proceso de diseño del sistema de posicionamiento y el efecto que introduce el método de montaje. Tanto la rigidez del flexure como la del acople provocan una disminución del recorrido útil del actuador. Además el sistema de montaje introduce una disminución en la frecuencia de resonancia del conjunto en la dirección de actuación y modos normales laterales adicionales. Para el diseño se utilizaron herramientas de cálculo y simulación por elementos finitos. Se presenta el análisis del contacto bolilla-superficie plana, cuyos resultados se comparan con las ecuaciones de Hertz. Finalmente se presentan resultados experimentales para condiciones de posicionamientos a lazo abierto de tipo estáticos y se comparan con los obtenidos por simulación.Publicado en: <i>Mecánica Computacional</i> vol. XXXV, no. 4Facultad de Ingeniería2017-11info:eu-repo/semantics/conferenceObjectinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionObjeto de conferenciahttp://purl.org/coar/resource_type/c_5794info:ar-repo/semantics/documentoDeConferenciaapplication/pdf135-145http://sedici.unlp.edu.ar/handle/10915/94274spainfo:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://cimec.org.ar/ojs/index.php/mc/article/view/5244info:eu-repo/semantics/altIdentifier/issn/2591-3522info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0)reponame:SEDICI (UNLP)instname:Universidad Nacional de La Platainstacron:UNLP2025-09-29T11:19:37Zoai:sedici.unlp.edu.ar:10915/94274Institucionalhttp://sedici.unlp.edu.ar/Universidad públicaNo correspondehttp://sedici.unlp.edu.ar/oai/snrdalira@sedici.unlp.edu.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:13292025-09-29 11:19:37.682SEDICI (UNLP) - Universidad Nacional de La Platafalse |
dc.title.none.fl_str_mv |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
title |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
spellingShingle |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico Flores, Gustavo M. Ingeniería Mecanismos flexibles Piezoelétricos Diseño |
title_short |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
title_full |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
title_fullStr |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
title_full_unstemmed |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
title_sort |
Diseño y resultados experimentales de un posicionador nanométrico |
dc.creator.none.fl_str_mv |
Flores, Gustavo M. Remirez, Luis P. Hecker, Rogelio L. Villegas, Fernando J. |
author |
Flores, Gustavo M. |
author_facet |
Flores, Gustavo M. Remirez, Luis P. Hecker, Rogelio L. Villegas, Fernando J. |
author_role |
author |
author2 |
Remirez, Luis P. Hecker, Rogelio L. Villegas, Fernando J. |
author2_role |
author author author |
dc.subject.none.fl_str_mv |
Ingeniería Mecanismos flexibles Piezoelétricos Diseño |
topic |
Ingeniería Mecanismos flexibles Piezoelétricos Diseño |
dc.description.none.fl_txt_mv |
En este trabajo se presenta el diseño e implementación de un dispositivo para posicionamientos de precisión con un rango de desplazamiento de 18 micrones y resolución nanométrica. Para la etapa de diseño se impuso que el ancho de banda de lazo cerrado sea relativamente alto, en el orden de 100 Hz. El sistema de guiado es del tipo “flexure stage” y es accionado por un piezoeléctrico. El ancho de banda especificado requiere de una rigidez del sistema tal que el primer modo de vibración del conjunto sea al menos 10 veces superior. Por otro lado, las exigencias de alineación del piezoeléctrico, para evitar esfuerzos de tensión destructivas, conducen a la utilización de acoples del tipo esfera-superficie plana. El trabajo presenta el proceso de diseño del sistema de posicionamiento y el efecto que introduce el método de montaje. Tanto la rigidez del flexure como la del acople provocan una disminución del recorrido útil del actuador. Además el sistema de montaje introduce una disminución en la frecuencia de resonancia del conjunto en la dirección de actuación y modos normales laterales adicionales. Para el diseño se utilizaron herramientas de cálculo y simulación por elementos finitos. Se presenta el análisis del contacto bolilla-superficie plana, cuyos resultados se comparan con las ecuaciones de Hertz. Finalmente se presentan resultados experimentales para condiciones de posicionamientos a lazo abierto de tipo estáticos y se comparan con los obtenidos por simulación. Publicado en: <i>Mecánica Computacional</i> vol. XXXV, no. 4 Facultad de Ingeniería |
description |
En este trabajo se presenta el diseño e implementación de un dispositivo para posicionamientos de precisión con un rango de desplazamiento de 18 micrones y resolución nanométrica. Para la etapa de diseño se impuso que el ancho de banda de lazo cerrado sea relativamente alto, en el orden de 100 Hz. El sistema de guiado es del tipo “flexure stage” y es accionado por un piezoeléctrico. El ancho de banda especificado requiere de una rigidez del sistema tal que el primer modo de vibración del conjunto sea al menos 10 veces superior. Por otro lado, las exigencias de alineación del piezoeléctrico, para evitar esfuerzos de tensión destructivas, conducen a la utilización de acoples del tipo esfera-superficie plana. El trabajo presenta el proceso de diseño del sistema de posicionamiento y el efecto que introduce el método de montaje. Tanto la rigidez del flexure como la del acople provocan una disminución del recorrido útil del actuador. Además el sistema de montaje introduce una disminución en la frecuencia de resonancia del conjunto en la dirección de actuación y modos normales laterales adicionales. Para el diseño se utilizaron herramientas de cálculo y simulación por elementos finitos. Se presenta el análisis del contacto bolilla-superficie plana, cuyos resultados se comparan con las ecuaciones de Hertz. Finalmente se presentan resultados experimentales para condiciones de posicionamientos a lazo abierto de tipo estáticos y se comparan con los obtenidos por simulación. |
publishDate |
2017 |
dc.date.none.fl_str_mv |
2017-11 |
dc.type.none.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/conferenceObject info:eu-repo/semantics/publishedVersion Objeto de conferencia http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 info:ar-repo/semantics/documentoDeConferencia |
format |
conferenceObject |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.none.fl_str_mv |
http://sedici.unlp.edu.ar/handle/10915/94274 |
url |
http://sedici.unlp.edu.ar/handle/10915/94274 |
dc.language.none.fl_str_mv |
spa |
language |
spa |
dc.relation.none.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://cimec.org.ar/ojs/index.php/mc/article/view/5244 info:eu-repo/semantics/altIdentifier/issn/2591-3522 |
dc.rights.none.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0) |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
rights_invalid_str_mv |
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0) |
dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf 135-145 |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:SEDICI (UNLP) instname:Universidad Nacional de La Plata instacron:UNLP |
reponame_str |
SEDICI (UNLP) |
collection |
SEDICI (UNLP) |
instname_str |
Universidad Nacional de La Plata |
instacron_str |
UNLP |
institution |
UNLP |
repository.name.fl_str_mv |
SEDICI (UNLP) - Universidad Nacional de La Plata |
repository.mail.fl_str_mv |
alira@sedici.unlp.edu.ar |
_version_ |
1844616070265044992 |
score |
13.070432 |