Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles

Autores
Lozano, A.; Palumbo, F.; Malatto, L.; Giménez, G.; Bonaparte, J.
Año de publicación
2017
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
documento de conferencia
Estado
versión aceptada
Descripción
Fil: Lozano, A. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Palumbo, F. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); Argentina
Fil: Malatto, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Bonaparte, J. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); Argentina
Fuente
TecnoINTI edición 2017. Jornadas Abiertas de Desarrollo, Innovación y Transferencia Tecnológica, 13
Materia
Degradación
Siliconas
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
De acuerdo con las condiciones establecidas por el art. 10 del "Reglamento Operativo para la Aplicación de la Ley Nº 26.899" (Res. 753 - E/2016 del Min. de Ciencia, Tecnología e Innovación Productiva), se permite la lectura, descarga e impresión de esta obra. Todos los demás derechos están reservados
Repositorio
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
Institución
Instituto Nacional de Tecnología Industrial
OAI Identificador
nuevadc:TecnoINTI2017-223_pdf

id RIINTI_e0504aa984ccc4cc68e92570ff42ef85
oai_identifier_str nuevadc:TecnoINTI2017-223_pdf
network_acronym_str RIINTI
repository_id_str
network_name_str Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
spelling Degradación de estructuras SOI en ambientes hostilesLozano, A.Palumbo, F.Malatto, L.Giménez, G.Bonaparte, J.DegradaciónSiliconasFil: Lozano, A. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; ArgentinaFil: Palumbo, F. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); ArgentinaFil: Malatto, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; ArgentinaFil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; ArgentinaFil: Bonaparte, J. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); ArgentinaINTI2017info:eu-repo/semantics/conferenceObjectinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_5794info:ar-repo/semantics/documentoDeConferenciaapplication/pdfTecnoINTI2017-223.pdfhttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/TecnoINT/I2017-22/3_pdf.dir/doc.pdfTecnoINTI edición 2017. Jornadas Abiertas de Desarrollo, Innovación y Transferencia Tecnológica, 13reponame:Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)instname:Instituto Nacional de Tecnología Industrialspainfo:eu-repo/semantics/openAccessDe acuerdo con las condiciones establecidas por el art. 10 del "Reglamento Operativo para la Aplicación de la Ley Nº 26.899" (Res. 753 - E/2016 del Min. de Ciencia, Tecnología e Innovación Productiva), se permite la lectura, descarga e impresión de esta obra. Todos los demás derechos están reservadosopenAccess2026-04-09T10:16:27Znuevadc:TecnoINTI2017-223_pdfinstacron:INTIInstitucionalhttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/biblioOrganismo científico-tecnológicohttps://argentina.gob.ar/intihttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/oaiserver?verb=Identifypfalcato@inti.gob.arArgentinaopendoar:2026-04-09 10:16:28.521Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) - Instituto Nacional de Tecnología Industrialfalse
dc.title.none.fl_str_mv Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
title Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
spellingShingle Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
Lozano, A.
Degradación
Siliconas
title_short Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
title_full Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
title_fullStr Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
title_full_unstemmed Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
title_sort Degradación de estructuras SOI en ambientes hostiles
dc.creator.none.fl_str_mv Lozano, A.
Palumbo, F.
Malatto, L.
Giménez, G.
Bonaparte, J.
author Lozano, A.
author_facet Lozano, A.
Palumbo, F.
Malatto, L.
Giménez, G.
Bonaparte, J.
author_role author
author2 Palumbo, F.
Malatto, L.
Giménez, G.
Bonaparte, J.
author2_role author
author
author
author
dc.subject.none.fl_str_mv Degradación
Siliconas
topic Degradación
Siliconas
dc.description.none.fl_txt_mv Fil: Lozano, A. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Palumbo, F. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); Argentina
Fil: Malatto, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
Fil: Bonaparte, J. Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA); Argentina
description Fil: Lozano, A. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica; Argentina
publishDate 2017
dc.date.none.fl_str_mv 2017
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/conferenceObject
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
info:ar-repo/semantics/documentoDeConferencia
format conferenceObject
status_str acceptedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv TecnoINTI2017-223.pdf
https://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/TecnoINT/I2017-22/3_pdf.dir/doc.pdf
identifier_str_mv TecnoINTI2017-223.pdf
url https://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/TecnoINT/I2017-22/3_pdf.dir/doc.pdf
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
De acuerdo con las condiciones establecidas por el art. 10 del "Reglamento Operativo para la Aplicación de la Ley Nº 26.899" (Res. 753 - E/2016 del Min. de Ciencia, Tecnología e Innovación Productiva), se permite la lectura, descarga e impresión de esta obra. Todos los demás derechos están reservados
openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv De acuerdo con las condiciones establecidas por el art. 10 del "Reglamento Operativo para la Aplicación de la Ley Nº 26.899" (Res. 753 - E/2016 del Min. de Ciencia, Tecnología e Innovación Productiva), se permite la lectura, descarga e impresión de esta obra. Todos los demás derechos están reservados
openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv INTI
publisher.none.fl_str_mv INTI
dc.source.none.fl_str_mv TecnoINTI edición 2017. Jornadas Abiertas de Desarrollo, Innovación y Transferencia Tecnológica, 13
reponame:Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
instname:Instituto Nacional de Tecnología Industrial
reponame_str Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
collection Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
instname_str Instituto Nacional de Tecnología Industrial
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) - Instituto Nacional de Tecnología Industrial
repository.mail.fl_str_mv pfalcato@inti.gob.ar
_version_ 1862000134106120192
score 13.203462