Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures

Autores
Salazar Alarcón, L.; Martínez,E. D.; Rodríguez, L. M.; Pastoriza, H.
Año de publicación
2016
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión aceptada
Descripción
Fil: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Martínez, E. D. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Rodríguez, L. M. Comisión Nacional de Energía Atómica. Laboratorio de Colisiones Atómicas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Fil: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
Materia
RETRACCION
MEMS
ESPECTROSCOPIA DE RETRODIFUSION RUTHERFORD
Shrinkage
MEMS
Rutherford backscattering spectroscopy
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
Repositorio
Nuclea (CNEA)
Institución
Comisión Nacional de Energía Atómica
OAI Identificador
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