Building a Fab on a Chip
- Autores
- Imboden, M.; Han, H.; Stark, T.; Lowell, E.; Chang, J.; Pardo, F.; Bolle, C.; del Corro, P.G.; Bishop, D.J.
- Año de publicación
- 2014
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- artículo
- Estado
- versión aceptada
- Descripción
- Fil: del Corro, P.G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina
Fil: Imboden, M. Boston University; Estados Unidos
Fil: Han, H. Boston University; Estados Unidos
Fil: Stark, T. Boston University; Estados Unidos
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Fil: Chang, J. Boston University; Estados Unidos
Fil: Pardo, F. Bell Labs. Alcatel-Lucen; Estados Unidos
Fil: Bolle, C. Labs. Alcatel-Lucen; Estados Unidos
Fil: Bishop, D.J. Boston University; Estados Unidos - Materia
-
SILICIO
MEMS
Silicon
Nanometer scale
MEMS - Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- Repositorio
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- Institución
- Comisión Nacional de Energía Atómica
- OAI Identificador
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Building a Fab on a ChipImboden, M.Han, H.Stark, T.Lowell, E.Chang, J.Pardo, F.Bolle, C.del Corro, P.G.Bishop, D.J.SILICIOMEMSSiliconNanometer scaleMEMSFil: del Corro, P.G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; ArgentinaFil: Imboden, M. Boston University; Estados UnidosFil: Han, H. Boston University; Estados UnidosFil: Stark, T. Boston University; Estados UnidosFil: Lowell, E. Boston University; Estados UnidosFil: Chang, J. Boston University; Estados UnidosFil: Pardo, F. Bell Labs. Alcatel-Lucen; Estados UnidosFil: Bolle, C. Labs. Alcatel-Lucen; Estados UnidosFil: Bishop, D.J. Boston University; Estados UnidosRoyal Society of ChemistryGerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas2014-00-00info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttps://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/52802040-3372span. 6Nanoscaleinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Nuclea (CNEA)instname:Comisión Nacional de Energía Atómica2025-10-16T10:46:18Zoai:nuclea.cnea.gob.ar:20.500.12553/5280instacron:CNEAInstitucionalhttps://nuclea.cnea.gob.ar/Organismo científico-tecnológicoNo correspondehttps://nuclea.cnea.gob.ar/oai/snrdbfernandez@cnea.gov.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:2025-10-16 10:46:18.44Nuclea (CNEA) - Comisión Nacional de Energía Atómicafalse |
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