Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios

Autores
Ruano Sandoval, Gustavo Daniel; Ferrón, Julio; Koropecki, Roberto Román
Año de publicación
2008
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
En este trabajo se presentan resultados de espectroscopía de emisión de electrones secundarios inducida por electrones, en muestras de silicio poroso nanoestructurado. Cuando se emplea un proceso adecuado de preparación del material, el bombardeo iónico modifica en forma reversible los espectros de emisión electrónica. Se estudia la respuesta temporal de esta modificación, tanto para muestras recién preparadas como para muestras sometidas a distintos tiempos de oxidación. Se presentan resultados para muestras tanto tipo p como n parcialmente oxidadas. Cuando se utiliza silicio tipo n y se somete a las muestras anodizadas a un proceso de oxidación por un tiempo suficientemente largo, las modificaciones inducidas por bombardeo iónico son completamente reversibles. Los resultados se interpretan en términos de un modelo que tiene en cuenta por un lado el comportamiento de la pérdida de energía de iones y electrones, que conduce a la formación de dipolos, y por otro lado el efecto del bombardeo electrónico en la composición química de la superficie de la nanoestructura
Electron induced secondary electron emission spectroscopy results for nanostructured silicon samples are presented. When the material is appropriately prepared, the ionic bombardment modifies the electron emission spectra in a reversible way. We study the time response of the modifications, for freshly prepared samples as well as for samples oxidized during different times. Results for both n and p-type partially oxidized nanostructured porous silicon samples are presented. The modification is completely reversible for n-type based nanoporous silicon oxidized during a long enough time. The results can be understood in terms of a model which takes into account on one side the dipole formation due to the electron and ion kinetic energy loss behavior, and the electron bombardment effect on pores surface chemical composition on the other side
Fil: Ruano Sandoval, Gustavo Daniel. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina
Fil: Ferrón, Julio. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina
Fil: Koropecki, Roberto Román. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2008;01(20):104-109
Materia
SILICIO POROSO
EMISION ELECTRONICA
NANOESTRUCTURA
POROUS SILICON
ELECTRONIC EMISSION
NANOSTRUCTURE
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
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