Sensores de temperatura de película delgada

Autores
Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Zimmerman, Rosa
Año de publicación
1989
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos
Fil: Broitman, Esteban Daniel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina
Fil: Latorre, Daniel Fernando. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina
Fil: Zimmerman, Rosa. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1989;01(01):336-338
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
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