Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO

• Autores: Perillo, P. M.; Rodríguez, D. F.
• Año de publicación: 2021
• Idioma: español castellano
• Tipo de recurso: artículo
• Fuente: An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2021;03(32):76-82
• Materia: CUO; NANOARROCES; SILAR; SENSOR DE HUMEDAD; ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA; CUO; NANORICES; SILAR; HUMIDITY SENSOR; IMPEDANCE SPECTROSCOPY
• Institución: Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales

Se ha fabricado con éxito un sensor de humedad basado en CuO. Se sintetizaron películas delgadas de nanoarroces deCuO mediante el método de reacción y adsorción de capa iónica sucesiva (SILAR) sobre obleas de silicio con una capa delgada de Si3N4 como sustrato. La microestructura y la morfología de las muestras se investigaron mediante difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM). Se han estudiado las propiedades de detección de humedad de las películas delgadas. La respuesta de detección se ha medido en el rango de humedad relativa (HR) de 20 hasta 80 % a temperatura ambiente. Se encontró que la impedancia del sistema disminuye a medida que aumenta la HR. El sensor preparado reveló una buena reversibilidad con un tiempo de respuesta y recuperación de 130 s y 320 s respectivamente. Los espectros de impedancia compleja se analizaron en el rango de 0.1 a 1 kHz. Este tipo de sensor de humedad se puede utilizar como una nueva generación de sensores ecológicos, de bajo costo y buena estabilidad. Hace que el sensor sea candidato para aplicaciones prácticas
In this paper a humidity sensor based on CuO has been successfully fabricated. Thin film of CuO nanorices were synthesized by Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) method on silicon wafer with Si3N4 thin layer as a substrate. The microstructure and morphology of the samples were investigated using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). Humidity sensing properties of the thin films have been studied. The sensing response has been measured in the relative humidity (RH) range from 20 up to 80 % at room temperature. It was found that impedance of the system decreases as the RH was increased. The prepared sensor revealed good reversibility with response and recovery time of 130 s and 320 s respectively. The complex impedance spectra were analyzed in therange of 0.1 to 1 kHz. This type of humidity sensor can be used as a new generation of ecological sensors with low costand good stability. It makes the sensor a candidate for practical applications.
Fil: Perillo, P. M.. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Constituyentes (CNEA). Departamento de Micro y Nanotecnología. Buenos Aires. Argentina
Fil: Rodríguez, D. F.. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Constituyentes (CNEA). Departamento de Micro y Nanotecnología. Buenos Aires. Argentina