Sensores de temperatura de película delgada - Broitman, Esteban Daniel (1989)
Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos