Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal

Autores
Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel
Año de publicación
2005
Idioma
inglés
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal.  Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions.  Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed.
Fil: Suárez, M. P.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
Fil: Mirabella, Maria Cristina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
Materia
Monte Carlo Simulations
Scanning Electron Microscopy
Etching
Surface Structure
Morphology
Roughness And Topography
Silicon
Koh
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
Repositorio
CONICET Digital (CONICET)
Institución
Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
OAI Identificador
oai:ri.conicet.gov.ar:11336/28057
Acceder
id CONICETDig_fdeaee9b1de4c04034391d7271ee99dd
oai_identifier_str oai:ri.conicet.gov.ar:11336/28057
network_acronym_str CONICETDig
repository_id_str 3498
network_name_str CONICET Digital (CONICET)
spelling Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystalSuárez, M. P.Mirabella, Maria CristinaAldao, Celso ManuelMonte Carlo SimulationsScanning Electron MicroscopyEtchingSurface StructureMorphologyRoughness And TopographySiliconKohSurface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal.  Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions.  Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed.Fil: Suárez, M. P.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; ArgentinaFil: Mirabella, Maria Cristina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; ArgentinaFil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; ArgentinaElsevier Science2005-11-10info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/11336/28057Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel; Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal; Elsevier Science; Surface Science; 599; 1-3; 10-11-2005; 221-2290039-6028CONICET DigitalCONICETenginfo:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.susc.2005.10.011info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602805011337info:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/reponame:CONICET Digital (CONICET)instname:Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas2025-09-10T13:03:51Zoai:ri.conicet.gov.ar:11336/28057instacron:CONICETInstitucionalhttp://ri.conicet.gov.ar/Organismo científico-tecnológicoNo correspondehttp://ri.conicet.gov.ar/oai/requestdasensio@conicet.gov.ar; lcarlino@conicet.gov.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:34982025-09-10 13:03:52.019CONICET Digital (CONICET) - Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicasfalse
dc.title.none.fl_str_mv Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
title Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
spellingShingle Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
Suárez, M. P.
Monte Carlo Simulations
Scanning Electron Microscopy
Etching
Surface Structure
Morphology
Roughness And Topography
Silicon
Koh
title_short Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
title_full Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
title_fullStr Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
title_full_unstemmed Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
title_sort Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
dc.creator.none.fl_str_mv Suárez, M. P.
Mirabella, Maria Cristina
Aldao, Celso Manuel
author Suárez, M. P.
author_facet Suárez, M. P.
Mirabella, Maria Cristina
Aldao, Celso Manuel
author_role author
author2 Mirabella, Maria Cristina
Aldao, Celso Manuel
author2_role author
author
dc.subject.none.fl_str_mv Monte Carlo Simulations
Scanning Electron Microscopy
Etching
Surface Structure
Morphology
Roughness And Topography
Silicon
Koh
topic Monte Carlo Simulations
Scanning Electron Microscopy
Etching
Surface Structure
Morphology
Roughness And Topography
Silicon
Koh
dc.description.none.fl_txt_mv Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal.  Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions.  Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed.
Fil: Suárez, M. P.. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
Fil: Mirabella, Maria Cristina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
Fil: Aldao, Celso Manuel. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Mar del Plata. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería. Instituto de Investigaciones en Ciencia y Tecnología de Materiales; Argentina
description Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal.  Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions.  Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(100) are discussed.
publishDate 2005
dc.date.none.fl_str_mv 2005-11-10
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
info:ar-repo/semantics/articulo
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv http://hdl.handle.net/11336/28057
Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel; Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal; Elsevier Science; Surface Science; 599; 1-3; 10-11-2005; 221-229
0039-6028
CONICET Digital
CONICET
url http://hdl.handle.net/11336/28057
identifier_str_mv Suárez, M. P.; Mirabella, Maria Cristina; Aldao, Celso Manuel; Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal; Elsevier Science; Surface Science; 599; 1-3; 10-11-2005; 221-229
0039-6028
CONICET Digital
CONICET
dc.language.none.fl_str_mv eng
language eng
dc.relation.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.1016/j.susc.2005.10.011
info:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602805011337
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Elsevier Science
publisher.none.fl_str_mv Elsevier Science
dc.source.none.fl_str_mv reponame:CONICET Digital (CONICET)
instname:Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
reponame_str CONICET Digital (CONICET)
collection CONICET Digital (CONICET)
instname_str Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
repository.name.fl_str_mv CONICET Digital (CONICET) - Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
repository.mail.fl_str_mv dasensio@conicet.gov.ar; lcarlino@conicet.gov.ar
_version_ 1842980112189882368
score 12.993085

Publicaciones similares