Phase Transformation of TiO2 Thin Films in Function Bias Voltage

Autores
Franco Arias, Lina Maria; Fazio, Mariana Andrea; Halac, Emilia Beatriz; Vega, Daniel Alberto; Heredia, Eduardo Armando; Kleiman, Ariel Javier; Marquez, Adriana Beatriz
Año de publicación
2015
Idioma
inglés
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Titanium dioxide thin films have been deposited on silicon (100) and 316L stainless steel substrates by cathodic arc deposition in oxygen atmosphere with a titanium cathode. The process was run at room temperature and at 300 °C, biasing the substrate with pulsed voltage (up to ?10 kV) and DC voltage (up to ?120 V). The crystalline structure was studied by Raman spectroscopy and X-ray diffraction. At room temperature, the films were obtained with an amorphous base with small isolated crystals of rutile and anatase. At 300 °C, with DC bias, samples grew crystalline with the presence of both anatase and rutile.
Fil: Franco Arias, Lina Maria. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Fazio, Mariana Andrea. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Halac, Emilia Beatriz. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina
Fil: Vega, Daniel Alberto. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Física del Sur. Universidad Nacional del Sur. Departamento de Física. Instituto de Física del Sur; Argentina
Fil: Heredia, Eduardo Armando. Ministerio de Defensa. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa; Argentina
Fil: Kleiman, Ariel Javier. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Marquez, Adriana Beatriz. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Materia
Titanium Dioxide
Cathodic Arc
Raman Spectroscopy
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
Repositorio
CONICET Digital (CONICET)
Institución
Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
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Fil: Franco Arias, Lina Maria. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Fazio, Mariana Andrea. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Halac, Emilia Beatriz. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina
Fil: Vega, Daniel Alberto. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Bahía Blanca. Instituto de Física del Sur. Universidad Nacional del Sur. Departamento de Física. Instituto de Física del Sur; Argentina
Fil: Heredia, Eduardo Armando. Ministerio de Defensa. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa; Argentina
Fil: Kleiman, Ariel Javier. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
Fil: Marquez, Adriana Beatriz. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Oficina de Coordinación Administrativa Ciudad Universitaria. Instituto de Física del Plasma. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Instituto de Física del Plasma; Argentina
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