Emisión electrónica en colisiones ion-superficie a incidencia rasante

Autores
Gómez, Gabriel Alberto; Sánchez, Esteban Alejandro; Martiarena, María Luz; Grizzi, Oscar; Ponce, Víctor Hugo
Año de publicación
1994
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Hemos medido las distribuciones en energía de electrones emitidos durante el bombardeo rasante con 10-100 keV de H⁺ He⁺ sobre superficies de Si. Los espectros muestran una importante dependencia con la dirección de incidencia del haz y de observación de los electrones emitidos. En regiones de observación cercanas a la de reflexión especular de los iones hemos estudiado la dependencia del máximo de la distribución con la topografía y el grado de oxidación de la superficie. Se discuten estas dependencias considerando las transiciones electrónicas al continuo en presencia del potencial directo del ion y del inducido por el ion y el electrón en la superficie, y los efectos post-colisionales. Lejos de la dirección de reflexión especular de los iones hemos observado la emisión Auger del Si. Se discuten las diferencias en la sensibilidad superficial de la espectroscopía Auger inducida por bombardeo con electrones y con iones rasantes sobre superficies parcialmente cubiertas con O₂
We have measured energy distributions of electrons ejected during grazing 10-100 keV H⁺ and He⁺ ions scattering from Si surfaces. The distributions have contributions strongly dependent on the projectile incidence angle and the direction of electron observation. For observation regions around the specular reflection of the ion we have studied the dependence of the maximum of the electron distribution with the surface topography and the adsorption of O₂. We discuss the experimental results within the model of electron transfer to the continuum of the effective potential formed by the direct ion and induced surface potentials, and its post collisional evolution. Far from the ion scattering plane we have observed the emission of Si Auger electrons. We discuss the differences in the surface sensitivity for Auger electron spectroscopy induced by electron and grazing proton bombardment for Si surfaces partially covered with O₂
Fil: Gómez, Gabriel Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Martiarena, María Luz. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Grizzi, Oscar. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Ponce, Víctor Hugo. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1994;01(06):26-32
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
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We have measured energy distributions of electrons ejected during grazing 10-100 keV H⁺ and He⁺ ions scattering from Si surfaces. The distributions have contributions strongly dependent on the projectile incidence angle and the direction of electron observation. For observation regions around the specular reflection of the ion we have studied the dependence of the maximum of the electron distribution with the surface topography and the adsorption of O₂. We discuss the experimental results within the model of electron transfer to the continuum of the effective potential formed by the direct ion and induced surface potentials, and its post collisional evolution. Far from the ion scattering plane we have observed the emission of Si Auger electrons. We discuss the differences in the surface sensitivity for Auger electron spectroscopy induced by electron and grazing proton bombardment for Si surfaces partially covered with O₂
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