Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica
- Autores
- Otero, Gonzalo; Tognalli, Nicolás; Sánchez, Esteban Alejandro; Grizzi, Oscar; Ponce, Víctor Hugo
- Año de publicación
- 2002
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- artículo
- Estado
- versión publicada
- Descripción
- Se caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión electrónica inducida por bombardeo rasante (α=1°) de protones a energía intermedia (60 keV) en función del espesor de la película (desde submonocapas hasta ~200Å). En particular, se centró la atención en los cambios observados en la distribución en energía de los electrones convoy, es decir, aquellos electrones que luego de la colisión con la superficie siguen al proyectil con velocidades similares. Se compararon estas distribuciones con las correspondientes a colisiones en fase gaseosa, discriminando de esta forma los efectos de los potenciales inducidos sobre la superficie, tanto para el caso del sustrato (conductor) como para el de la película aislante depositada
We characterized the growth of thin AlF3 films over Al and Cu conducting surfaces by means of Auger Electron Spectroscopy induced by electron bombardment. We observed a layer by layer growth. We studied the changes produced in the electronic emission induced by grazing bombardment (α=1°) with intermediate energy protons (60 keV) as a function of the film thickness (from submonolayer coverage up to several layers ~200Å). In particular, we focussed our attention in the changes observed in the energy distribution of the convoy electrons, i.e., those electrons which after the collision with the surface follow the projectile with a similar velocity. We compared these distributions with the corresponding one in gas phase collisions. These measurements allowed discrimination of the effects of the potential induced on the surface, for both the conducting and the insulating surfaces
Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Tognalli, Nicolás. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Grizzi, Oscar. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Ponce, Víctor Hugo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina - Fuente
- An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):171-175
- Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
- Repositorio
.jpg)
- Institución
- Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
- OAI Identificador
- afa:afa_v14_n01_p171
Ver los metadatos del registro completo
| id |
BDUBAFCEN_662a2ad37eb84ecf12dc534d5f743153 |
|---|---|
| oai_identifier_str |
afa:afa_v14_n01_p171 |
| network_acronym_str |
BDUBAFCEN |
| repository_id_str |
1896 |
| network_name_str |
Biblioteca Digital (UBA-FCEN) |
| spelling |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónicaOtero, GonzaloTognalli, NicolásSánchez, Esteban AlejandroGrizzi, OscarPonce, Víctor HugoSe caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión electrónica inducida por bombardeo rasante (α=1°) de protones a energía intermedia (60 keV) en función del espesor de la película (desde submonocapas hasta ~200Å). En particular, se centró la atención en los cambios observados en la distribución en energía de los electrones convoy, es decir, aquellos electrones que luego de la colisión con la superficie siguen al proyectil con velocidades similares. Se compararon estas distribuciones con las correspondientes a colisiones en fase gaseosa, discriminando de esta forma los efectos de los potenciales inducidos sobre la superficie, tanto para el caso del sustrato (conductor) como para el de la película aislante depositadaWe characterized the growth of thin AlF3 films over Al and Cu conducting surfaces by means of Auger Electron Spectroscopy induced by electron bombardment. We observed a layer by layer growth. We studied the changes produced in the electronic emission induced by grazing bombardment (α=1°) with intermediate energy protons (60 keV) as a function of the film thickness (from submonolayer coverage up to several layers ~200Å). In particular, we focussed our attention in the changes observed in the energy distribution of the convoy electrons, i.e., those electrons which after the collision with the surface follow the projectile with a similar velocity. We compared these distributions with the corresponding one in gas phase collisions. These measurements allowed discrimination of the effects of the potential induced on the surface, for both the conducting and the insulating surfacesFil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaFil: Tognalli, Nicolás. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaFil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaFil: Grizzi, Oscar. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaFil: Ponce, Víctor Hugo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaAsociación Física Argentina2002info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttps://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p171An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):171-175reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesinstacron:UBA-FCENspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar2025-09-29T13:40:29Zafa:afa_v14_n01_p171Institucionalhttps://digital.bl.fcen.uba.ar/Universidad públicaNo correspondehttps://digital.bl.fcen.uba.ar/cgi-bin/oaiserver.cgiana@bl.fcen.uba.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:18962025-09-29 13:40:30.338Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesfalse |
| dc.title.none.fl_str_mv |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| title |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| spellingShingle |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica Otero, Gonzalo |
| title_short |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| title_full |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| title_fullStr |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| title_full_unstemmed |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| title_sort |
Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica |
| dc.creator.none.fl_str_mv |
Otero, Gonzalo Tognalli, Nicolás Sánchez, Esteban Alejandro Grizzi, Oscar Ponce, Víctor Hugo |
| author |
Otero, Gonzalo |
| author_facet |
Otero, Gonzalo Tognalli, Nicolás Sánchez, Esteban Alejandro Grizzi, Oscar Ponce, Víctor Hugo |
| author_role |
author |
| author2 |
Tognalli, Nicolás Sánchez, Esteban Alejandro Grizzi, Oscar Ponce, Víctor Hugo |
| author2_role |
author author author author |
| dc.description.none.fl_txt_mv |
Se caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión electrónica inducida por bombardeo rasante (α=1°) de protones a energía intermedia (60 keV) en función del espesor de la película (desde submonocapas hasta ~200Å). En particular, se centró la atención en los cambios observados en la distribución en energía de los electrones convoy, es decir, aquellos electrones que luego de la colisión con la superficie siguen al proyectil con velocidades similares. Se compararon estas distribuciones con las correspondientes a colisiones en fase gaseosa, discriminando de esta forma los efectos de los potenciales inducidos sobre la superficie, tanto para el caso del sustrato (conductor) como para el de la película aislante depositada We characterized the growth of thin AlF3 films over Al and Cu conducting surfaces by means of Auger Electron Spectroscopy induced by electron bombardment. We observed a layer by layer growth. We studied the changes produced in the electronic emission induced by grazing bombardment (α=1°) with intermediate energy protons (60 keV) as a function of the film thickness (from submonolayer coverage up to several layers ~200Å). In particular, we focussed our attention in the changes observed in the energy distribution of the convoy electrons, i.e., those electrons which after the collision with the surface follow the projectile with a similar velocity. We compared these distributions with the corresponding one in gas phase collisions. These measurements allowed discrimination of the effects of the potential induced on the surface, for both the conducting and the insulating surfaces Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Tognalli, Nicolás. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Grizzi, Oscar. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Ponce, Víctor Hugo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina |
| description |
Se caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión electrónica inducida por bombardeo rasante (α=1°) de protones a energía intermedia (60 keV) en función del espesor de la película (desde submonocapas hasta ~200Å). En particular, se centró la atención en los cambios observados en la distribución en energía de los electrones convoy, es decir, aquellos electrones que luego de la colisión con la superficie siguen al proyectil con velocidades similares. Se compararon estas distribuciones con las correspondientes a colisiones en fase gaseosa, discriminando de esta forma los efectos de los potenciales inducidos sobre la superficie, tanto para el caso del sustrato (conductor) como para el de la película aislante depositada |
| publishDate |
2002 |
| dc.date.none.fl_str_mv |
2002 |
| dc.type.none.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 info:ar-repo/semantics/articulo |
| format |
article |
| status_str |
publishedVersion |
| dc.identifier.none.fl_str_mv |
https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p171 |
| url |
https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p171 |
| dc.language.none.fl_str_mv |
spa |
| language |
spa |
| dc.rights.none.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar |
| eu_rights_str_mv |
openAccess |
| rights_invalid_str_mv |
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar |
| dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf |
| dc.publisher.none.fl_str_mv |
Asociación Física Argentina |
| publisher.none.fl_str_mv |
Asociación Física Argentina |
| dc.source.none.fl_str_mv |
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):171-175 reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN) instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales instacron:UBA-FCEN |
| reponame_str |
Biblioteca Digital (UBA-FCEN) |
| collection |
Biblioteca Digital (UBA-FCEN) |
| instname_str |
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales |
| instacron_str |
UBA-FCEN |
| institution |
UBA-FCEN |
| repository.name.fl_str_mv |
Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales |
| repository.mail.fl_str_mv |
ana@bl.fcen.uba.ar |
| _version_ |
1844618686467407872 |
| score |
13.070432 |