Aplicaciones de la microscopía de fuerza atómica al estudio de superficies utilizadas en experimentos de interacción de iones con la materia

Autores
Sánchez, Esteban Alejandro; Gómez, G. R.; Gayone, Julio Esteban; Pregliasco, Rodolfo Guillermo; Grizzi, Oscar
Año de publicación
1995
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Se utilizó el microscopio de fuerza atómica para estudiar la topografía de superficies conductoras, semiconductoras y aislantes empleadas en experimentos de interacción de iones con la materia. Se comprobó que los ciclos de recocido alternados con bombardeo rasante de Arᶧ a 20 keV producen superficies de GaAs(110) y Al(111) más planas que la técnica convencional de preparación de muestras monocristalinas. Se comparan estos resultados con mediciones de dispersión de iones y de emisión de electrones Convoy por incidencia rasante de protones. Se midió también la rugosidad de láminas delgadas (≈130 Å) autosoportadas de Au empleadas en experimentos de frenamiento de iones en sólidos. Finalmente se muestran imágenes de daño producido por impacto de CIᶧ a 49 MeV en superficies de mica.
We have used the atomic force microscope to study the topography of conductor, semiconductor and insulator surfaces used in experiments of ion-beam interaction with solids. We state that cycles of grazing 20 keV Arᶧ bombardment and anneling produce GaAs(110) and Al(111) surfaces smoother than those prepared by standard methods. We compare these results with measurements of Ion Scattering Spectrometry and Convoy electron emission induced by grazing proton bombardment. We have also measured the roughness of self-suporting Au samples (≈130 Å thikness) used in stopping power experiments. Finally, we show images of ion damage produced by 49 MeV CIᶧ on mica surfaces.
Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Gómez, G. R.. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Gayone, Julio Esteban. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Pregliasco, Rodolfo Guillermo. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fil: Grizzi, Oscar. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche (CNEA-CAB). Río Negro. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1995;01(07):72-76
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
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We have used the atomic force microscope to study the topography of conductor, semiconductor and insulator surfaces used in experiments of ion-beam interaction with solids. We state that cycles of grazing 20 keV Arᶧ bombardment and anneling produce GaAs(110) and Al(111) surfaces smoother than those prepared by standard methods. We compare these results with measurements of Ion Scattering Spectrometry and Convoy electron emission induced by grazing proton bombardment. We have also measured the roughness of self-suporting Au samples (≈130 Å thikness) used in stopping power experiments. Finally, we show images of ion damage produced by 49 MeV CIᶧ on mica surfaces.
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