Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3

Autores
Giménez, G.; Mangano, E.; Fraigi, L.; Pernas, P.; Lifante, G.
Año de publicación
2010
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
documento de conferencia
Estado
versión publicada
Descripción
Un interferómetro Mach-Zehner (MZ) es un dispositivo óptico con múltiples aplicaciones. Las mismas se basan en medir el defasaje del camino óptico de un haz de luz coherente. Este trabajo tiene por objetivo exponer los métodos y resultados de la micromecanización que fueron utilizados para la fabricación de un MZ-MEMS, donde se usaron como materiales base Niobato de Litio como sustrato y Zinc para las vías de onda. Se describen las etapas de diseño, de la microfabricación y caracterización del proceso.
Fil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Mangano, E. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Fraigi, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Pernas, P. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); España
Fil: Lifante, G. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); España
Fuente
Congreso de Microelectrónica Aplicada, 2010
Materia
Interferómetros
Instrumentos ópticos
Cristales
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
Del editor: "Se otorga permiso para copiar y redistribuir este libro de resúmenes, siempre que se mantengan los mensajes de copyright y autoría. Copyright Universidad Nacional de La Matanza, 2010. Copyright Universidad Tecnológica Nacional, Facultad Nacional Haedo, 2010."
Repositorio
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
Institución
Instituto Nacional de Tecnología Industrial
OAI Identificador
nuevadc:2025GimenezG_pdf
Acceder
id RIINTI_f540c071861d0cfdeb52184c4e5ad79b
oai_identifier_str nuevadc:2025GimenezG_pdf
network_acronym_str RIINTI
repository_id_str
network_name_str Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
spelling Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3Giménez, G.Mangano, E.Fraigi, L.Pernas, P.Lifante, G.InterferómetrosInstrumentos ópticosCristalesUn interferómetro Mach-Zehner (MZ) es un dispositivo óptico con múltiples aplicaciones. Las mismas se basan en medir el defasaje del camino óptico de un haz de luz coherente. Este trabajo tiene por objetivo exponer los métodos y resultados de la micromecanización que fueron utilizados para la fabricación de un MZ-MEMS, donde se usaron como materiales base Niobato de Litio como sustrato y Zinc para las vías de onda. Se describen las etapas de diseño, de la microfabricación y caracterización del proceso.Fil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); ArgentinaFil: Mangano, E. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); ArgentinaFil: Fraigi, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); ArgentinaFil: Pernas, P. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); EspañaFil: Lifante, G. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); EspañaINTI-Electrónica e Informática2010info:eu-repo/semantics/conferenceObjectinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_5794info:ar-repo/semantics/documentoDeConferenciaapplication/pdf2025GimenezG.pdfhttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/2025Gime/nezG_pdf.dir/2025GimenezG.pdfCongreso de Microelectrónica Aplicada, 2010reponame:Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)instname:Instituto Nacional de Tecnología Industrialspainfo:eu-repo/semantics/openAccessDel editor: "Se otorga permiso para copiar y redistribuir este libro de resúmenes, siempre que se mantengan los mensajes de copyright y autoría. Copyright Universidad Nacional de La Matanza, 2010. Copyright Universidad Tecnológica Nacional, Facultad Nacional Haedo, 2010."openAccess2025-10-16T10:46:40Znuevadc:2025GimenezG_pdfinstacron:INTIInstitucionalhttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/biblioOrganismo científico-tecnológicohttps://argentina.gob.ar/intihttps://app.inti.gob.ar/greenstone3/oaiserver?verb=Identifypfalcato@inti.gob.arArgentinaopendoar:2025-10-16 10:46:41.312Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) - Instituto Nacional de Tecnología Industrialfalse
dc.title.none.fl_str_mv Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
title Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
spellingShingle Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
Giménez, G.
Interferómetros
Instrumentos ópticos
Cristales
title_short Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
title_full Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
title_fullStr Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
title_full_unstemmed Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
title_sort Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3
dc.creator.none.fl_str_mv Giménez, G.
Mangano, E.
Fraigi, L.
Pernas, P.
Lifante, G.
author Giménez, G.
author_facet Giménez, G.
Mangano, E.
Fraigi, L.
Pernas, P.
Lifante, G.
author_role author
author2 Mangano, E.
Fraigi, L.
Pernas, P.
Lifante, G.
author2_role author
author
author
author
dc.subject.none.fl_str_mv Interferómetros
Instrumentos ópticos
Cristales
topic Interferómetros
Instrumentos ópticos
Cristales
dc.description.none.fl_txt_mv Un interferómetro Mach-Zehner (MZ) es un dispositivo óptico con múltiples aplicaciones. Las mismas se basan en medir el defasaje del camino óptico de un haz de luz coherente. Este trabajo tiene por objetivo exponer los métodos y resultados de la micromecanización que fueron utilizados para la fabricación de un MZ-MEMS, donde se usaron como materiales base Niobato de Litio como sustrato y Zinc para las vías de onda. Se describen las etapas de diseño, de la microfabricación y caracterización del proceso.
Fil: Giménez, G. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Mangano, E. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Fraigi, L. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Centro de Electrónica e Informática (INTI-Electrónica e Informática); Argentina
Fil: Pernas, P. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); España
Fil: Lifante, G. Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física de Materiales (UAM); España
description Un interferómetro Mach-Zehner (MZ) es un dispositivo óptico con múltiples aplicaciones. Las mismas se basan en medir el defasaje del camino óptico de un haz de luz coherente. Este trabajo tiene por objetivo exponer los métodos y resultados de la micromecanización que fueron utilizados para la fabricación de un MZ-MEMS, donde se usaron como materiales base Niobato de Litio como sustrato y Zinc para las vías de onda. Se describen las etapas de diseño, de la microfabricación y caracterización del proceso.
publishDate 2010
dc.date.none.fl_str_mv 2010
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/conferenceObject
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
info:ar-repo/semantics/documentoDeConferencia
format conferenceObject
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv 2025GimenezG.pdf
https://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/2025Gime/nezG_pdf.dir/2025GimenezG.pdf
identifier_str_mv 2025GimenezG.pdf
url https://app.inti.gob.ar/greenstone3/sites/localsite/collect/nuevadc/index/assoc/2025Gime/nezG_pdf.dir/2025GimenezG.pdf
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
Del editor: "Se otorga permiso para copiar y redistribuir este libro de resúmenes, siempre que se mantengan los mensajes de copyright y autoría. Copyright Universidad Nacional de La Matanza, 2010. Copyright Universidad Tecnológica Nacional, Facultad Nacional Haedo, 2010."
openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv Del editor: "Se otorga permiso para copiar y redistribuir este libro de resúmenes, siempre que se mantengan los mensajes de copyright y autoría. Copyright Universidad Nacional de La Matanza, 2010. Copyright Universidad Tecnológica Nacional, Facultad Nacional Haedo, 2010."
openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv INTI-Electrónica e Informática
publisher.none.fl_str_mv INTI-Electrónica e Informática
dc.source.none.fl_str_mv Congreso de Microelectrónica Aplicada, 2010
reponame:Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
instname:Instituto Nacional de Tecnología Industrial
reponame_str Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
collection Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
instname_str Instituto Nacional de Tecnología Industrial
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) - Instituto Nacional de Tecnología Industrial
repository.mail.fl_str_mv pfalcato@inti.gob.ar
_version_ 1846147089977835520
score 12.712165

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