Microfabricación de un Interferómetro Mach-Zehnder sobre cristales de LiNbO3 - Giménez, G. (2010)
Un interferómetro Mach-Zehner (MZ) es un dispositivo óptico con múltiples aplicaciones. Las mismas se basan en medir el defasaje del camino óptico de un haz de luz coherente. Este trabajo tiene por objetivo exponer los métodos y resultados de la micromecanización que fueron utilizados para la fabricación de un MZ-MEMS, donde se usaron como materiales base Niobato de Litio como sustrato y Zinc para las vías de onda. Se describen las etapas de diseño, de la microfabricación y caracterización del proceso.