Vanadium Oxide Thin Film Temperature Microsensor

Autores
Kramar, María Belén; Rota, Franco; Patrone, Luciano Agustín; Lozano, Carlos Álex; Malatto, María Laura
Año de publicación
2025
Idioma
inglés
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Vanadium oxides are known for their thermal properties, such as high temperature coefficient of resistance (TCR). This article presents the development of a low-cost and easy-to-fabricate temperature microsensor, specially designed to be integrated into microfluidic channels, although it can be used in multiple applications. It consists of a thin film of vanadium oxide as a resistive sensor on glass substrates. Two meander-shaped geometries with an area less than 1,5 mm2 were designed and microfabricated. A steady-state and dynamic thermal characterization was performed to determine its specifications. The sensors demonstrated linear behaviour and an average TCR of 4055 ppm/°C was obtained for a temperature range of 20 to 75 °C.
Fil: Kramar, María Belén. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Rota, Franco. Universidad Nacional de San Martín. Escuela de Ciencia y Tecnología (UNSAM-ECyT); Argentina
Fil: Patrone, Luciano Agustín. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Lozano, Carlos Álex. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Lozano, Carlos Álex. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Buenos Aires (UTN-FRBA); Argentina
Fil: Malatto, María Laura. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fuente
Congreso Argentino de Electrónica, CAE 2025
Materia
Sensores
Microsensores
Nanosensores
Óxidos
Vanadio
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
Repositorio
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
Institución
Instituto Nacional de Tecnología Industrial
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