Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon subs...

Autores
Der, Manuel; Olmos, Carol; Rosero Yanez, Gustavo Iván; Santizo, Itzel; Fernandez, Tamara; Dieguez, Maria Jose; Sacco, Francisco; Granell, Pablo; Golmar, Federico; Lerner, Betiana; Lasorsa, Carlos; Perez, Maximiliano
Año de publicación
2018
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado.
In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the pore-formation time, essential feature considering the exigent requirements of industry. Finally, it was concluded that optimum conditions for a controlled fabrication of pores correspond to a temperature of 84 ˚C, HCl as a braking agent and voltages of 0,1V, 0,5V and 1V respectively. The above results are of great importance in different fields, such as biology or medicine, in relation to the utility of pores as sensing devices.
Instituto de Genética
Fil: Der, Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina.
Fil: Olmos, Carol. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Rosero Yanez, Gustavo Iván. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Santizo, Itzel. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Fernandez, Tamara. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Dieguez, María José. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina
Fil: Sacco, Francisco. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina
Fil: Granell, Pablo. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina
Fil: Golmar, Federico. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina
Fil: Lerner, Betiana. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Lasorsa, Carlos. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Perez, Maximiliano. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fuente
Materia 23 (2): e-12127 (Julio 2018)
Materia
Biosensores
Silicio
Biosensors
Silicon
Macroporos
Método Electroquímico
Micropores
Electrochemical Method
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
Repositorio
INTA Digital (INTA)
Institución
Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria
OAI Identificador
oai:localhost:20.500.12123/4461
Acceder
id INTADig_9740cc217adaf7ee090f0ad284e1068e
oai_identifier_str oai:localhost:20.500.12123/4461
network_acronym_str INTADig
repository_id_str l
network_name_str INTA Digital (INTA)
spelling Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical methodDer, ManuelOlmos, CarolRosero Yanez, Gustavo IvánSantizo, ItzelFernandez, TamaraDieguez, Maria JoseSacco, FranciscoGranell, PabloGolmar, FedericoLerner, BetianaLasorsa, CarlosPerez, MaximilianoBiosensoresSilicioBiosensorsSiliconMacroporosMétodo ElectroquímicoMicroporesElectrochemical MethodEn el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado.In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the pore-formation time, essential feature considering the exigent requirements of industry. Finally, it was concluded that optimum conditions for a controlled fabrication of pores correspond to a temperature of 84 ˚C, HCl as a braking agent and voltages of 0,1V, 0,5V and 1V respectively. The above results are of great importance in different fields, such as biology or medicine, in relation to the utility of pores as sensing devices.Instituto de GenéticaFil: Der, Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina.Fil: Olmos, Carol. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Rosero Yanez, Gustavo Iván. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Santizo, Itzel. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Fernandez, Tamara. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Dieguez, María José. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; ArgentinaFil: Sacco, Francisco. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; ArgentinaFil: Granell, Pablo. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; ArgentinaFil: Golmar, Federico. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; ArgentinaFil: Lerner, Betiana. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Lasorsa, Carlos. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaFil: Perez, Maximiliano. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; ArgentinaUniversidade Federal do Rio de Janeiro2019-02-18T17:27:38Z2019-02-18T17:27:38Z2018-07info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttp://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdfhttp://hdl.handle.net/20.500.12123/44611517-707610.1590/S1517-707620180002.0461Materia 23 (2): e-12127 (Julio 2018)reponame:INTA Digital (INTA)instname:Instituto Nacional de Tecnología Agropecuariaspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0)2025-09-04T09:47:48Zoai:localhost:20.500.12123/4461instacron:INTAInstitucionalhttp://repositorio.inta.gob.ar/Organismo científico-tecnológicoNo correspondehttp://repositorio.inta.gob.ar/oai/requesttripaldi.nicolas@inta.gob.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:l2025-09-04 09:47:49.299INTA Digital (INTA) - Instituto Nacional de Tecnología Agropecuariafalse
dc.title.none.fl_str_mv Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
title Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
spellingShingle Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
Der, Manuel
Biosensores
Silicio
Biosensors
Silicon
Macroporos
Método Electroquímico
Micropores
Electrochemical Method
title_short Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
title_full Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
title_fullStr Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
title_full_unstemmed Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
title_sort Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
dc.creator.none.fl_str_mv Der, Manuel
Olmos, Carol
Rosero Yanez, Gustavo Iván
Santizo, Itzel
Fernandez, Tamara
Dieguez, Maria Jose
Sacco, Francisco
Granell, Pablo
Golmar, Federico
Lerner, Betiana
Lasorsa, Carlos
Perez, Maximiliano
author Der, Manuel
author_facet Der, Manuel
Olmos, Carol
Rosero Yanez, Gustavo Iván
Santizo, Itzel
Fernandez, Tamara
Dieguez, Maria Jose
Sacco, Francisco
Granell, Pablo
Golmar, Federico
Lerner, Betiana
Lasorsa, Carlos
Perez, Maximiliano
author_role author
author2 Olmos, Carol
Rosero Yanez, Gustavo Iván
Santizo, Itzel
Fernandez, Tamara
Dieguez, Maria Jose
Sacco, Francisco
Granell, Pablo
Golmar, Federico
Lerner, Betiana
Lasorsa, Carlos
Perez, Maximiliano
author2_role author
author
author
author
author
author
author
author
author
author
author
dc.subject.none.fl_str_mv Biosensores
Silicio
Biosensors
Silicon
Macroporos
Método Electroquímico
Micropores
Electrochemical Method
topic Biosensores
Silicio
Biosensors
Silicon
Macroporos
Método Electroquímico
Micropores
Electrochemical Method
dc.description.none.fl_txt_mv En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado.
In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the pore-formation time, essential feature considering the exigent requirements of industry. Finally, it was concluded that optimum conditions for a controlled fabrication of pores correspond to a temperature of 84 ˚C, HCl as a braking agent and voltages of 0,1V, 0,5V and 1V respectively. The above results are of great importance in different fields, such as biology or medicine, in relation to the utility of pores as sensing devices.
Instituto de Genética
Fil: Der, Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina.
Fil: Olmos, Carol. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Rosero Yanez, Gustavo Iván. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Santizo, Itzel. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Fernandez, Tamara. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Dieguez, María José. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina
Fil: Sacco, Francisco. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina
Fil: Granell, Pablo. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina
Fil: Golmar, Federico. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina
Fil: Lerner, Betiana. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Lasorsa, Carlos. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
Fil: Perez, Maximiliano. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina
description En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado.
publishDate 2018
dc.date.none.fl_str_mv 2018-07
2019-02-18T17:27:38Z
2019-02-18T17:27:38Z
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
info:ar-repo/semantics/articulo
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf
http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461
1517-7076
10.1590/S1517-707620180002.0461
url http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf
http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461
identifier_str_mv 1517-7076
10.1590/S1517-707620180002.0461
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0)
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0)
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal do Rio de Janeiro
publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal do Rio de Janeiro
dc.source.none.fl_str_mv Materia 23 (2): e-12127 (Julio 2018)
reponame:INTA Digital (INTA)
instname:Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria
reponame_str INTA Digital (INTA)
collection INTA Digital (INTA)
instname_str Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria
repository.name.fl_str_mv INTA Digital (INTA) - Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria
repository.mail.fl_str_mv tripaldi.nicolas@inta.gob.ar
_version_ 1842341363482361856
score 12.623145

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