Aldao, C. M., & Weaver, J. H. (2001). Halogen etching of Si via atomic-scale processes. Web
Citación estilo ChicagoAldao, Celso Manuel, and J. H. Weaver. Halogen Etching of Si Via Atomic-scale Processes. 2001.
Cita MLAAldao, Celso Manuel, and J. H. Weaver. Halogen Etching of Si Via Atomic-scale Processes. 2001.
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