Sensibilidad a NOₓ en sensores MOS de compuerta catalítica porosa

Autores
Filippini, Daniel; Aragón, Ricardo; Lamagna, Alberto; Willshaw, Peter
Año de publicación
1998
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
El uso de compuertas de Pd poroso en capacitores MOS, promueve sensibilidad a NOₓ ambiente. La porosidad inducida por cambio de los parámetros de deposición durante sputtering D.C. fue caracterizada por microscopía electrónica de transmisión. La temperatura y el espesor de depósito tienen efectos opuestos sobre la porosidad; por encima de 200°C se induce epitaxia, inhibiendo la coalescencia y promoviendo porosidad a espesores mayores. La sensibilidad a NOₓ, manifiesta en el corrimiento de la tensión de banda plana de curvas C-V a valores menos negativos, aumenta significativamente para compuertas porosas de 20Å de espesor
The use of porous Pd gates in MOS capacitors, enhaces sensitivity to NOₓ in air. Porosity is promoted by controlled DC sputtering conditions and characterized by transmision electron microscopy. Deposition temperature and thickness have inverse effects on porosity; above 200°C epitaxy is induced, inhibiting coalescence and promoting porosity at higher thicknesses. Sensitivity to NOₓ, evidenced by the shift of C-V curves to less negative values, increases significantly for 20Å porous gates
Fil: Filippini, Daniel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Laboratorio de Películas Delgadas. Buenos Aires. Argentina
Fil: Aragón, Ricardo. Centro de Investigaciones en Sólidos (CINSO-CITEFA-CONICET). Buenos Aires. Argentina
Fil: Lamagna, Alberto. Comisión Nacional de Energía Atómica. División Energía solar (CNEA). CABA. Argentina
Fil: Willshaw, Peter. Universidad Favaloro. MeTTyB (CONICET). Buenos Aires. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1998;01(10):317-319
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
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