Primeras etapas de oxidación de películas delgadas de Yb : un estudio con espectroscopía Auger

• Autores: Concari, S. C.; Vaquila, Isidoro; Koropecki, Roberto Román; Ferrón, Julio
• Año de publicación: 1995
• Idioma: español castellano
• Tipo de recurso: artículo
• Fuente: An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1995;01(07):168-175
• Institución: Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales

Por medio de la espectroscopía Auger se estudiaron las primeras etapas de oxidación de películas delgadas de yterbio. Para interpretar la cinética de oxidación del Yb, los espectros Auger adquiridos para diferentes exposiciones de oxígeno, fueron procesados por medio del Análisis de Componentes Principales. Usando el método de transforrnación al blanco, se aislaron los espectros Auger de las componentes presentes durante el proceso de oxidación, así como sus concentraciones. Las tres componentes independientes obtenidas fueron asignadas a yterbio puro y dos óxidos diferentes respectivamente. El espectro Auger del Yb₂O₃, obtenido analizando una película de yterbio oxidada siguiendo el procedimiento estandar (150 °C en aire a presión atmosférica durante 118 hs.), resulta igual a una de las componentes obtenidas por Análisis de Componentes Principales. Suponiendo un modelo de crecimiento uniforme del óxido, de capa por capa, los resultados sugieren que: i) en las primeras etapas de oxidación (exposición < 4 L), una delgada capa de un tipo de óxido, Ybox, crece sobre el yterbio puro; ii) para exposiciones mayores, una capa de óxido estequiométrico (Yb₂O₃), crece sobre la capa intermedia
An Auger spectroscopy study was performed during the early stages of oxidation of thin films of ytterbium. The Auger spectra acquired for different oxygen exposures were processed using Principal Component Analysis in order to study the oxidation kinetics of the Yb. The Auger spectra of the components, as well as their concentrations during the oxidation process, were obtained using the Target Transformation method. Three independent components resulted, which were assigned respectively to pure ytterbium and two different oxides. By an independent experiment of thermal oxidation of a Yb thin film, following a standard procedure, an Yb₂O₃ film was obtained. The spectrum of the Yb₂O₃ obtained in this way corresponds to one of the isolated components. Assuming a layer by layer oxide growth, the results suggest that: i) at low oxygen exposures (< 4 L), a thin layer of Ybox, grows over the pure ytterbium; ii) at larger exposures a film of stoichiometric ytterbium oxide (Yb₂O₃ ), grows over the intermediate layer
Fil: Concari, S. C.. Universidad Nacional del Litoral. Facultad de Ingeniería Química (UNL-FIQ) Santa Fe. Argentina
Fil: Vaquila, Isidoro. Universidad Nacional del Litoral. Facultad de Ingeniería Química (UNL-FIQ) Santa Fe. Argentina
Fil: Koropecki, Roberto Román. Universidad Nacional del Litoral. Facultad de Ingeniería Química (UNL-FIQ) Santa Fe. Argentina
Fil: Ferrón, Julio. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina