Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados

Autores
Rava, D.; Ferrero, Hugo Eduardo; Fidalgo, Luis Enrique; Agüero, Mónica Beatriz; Hnilo, Alejandro Andrés; Kovalsky, Marcelo Gregorio
Año de publicación
2014
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control
In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect
Fil: Rava, D.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina
Fil: Ferrero, Hugo Eduardo. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina
Fil: Fidalgo, Luis Enrique. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Agüero, Mónica Beatriz. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Hnilo, Alejandro Andrés. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2014;02(25):91-95
Materia
MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
OAI Identificador
afa:afa_v25_n02_p091
Acceder
id BDUBAFCEN_2e7ff822a87b278f363eccb72ffba1dd
oai_identifier_str afa:afa_v25_n02_p091
network_acronym_str BDUBAFCEN
repository_id_str 1896
network_name_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
spelling Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultadosNano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of resultsRava, D.Ferrero, Hugo EduardoFidalgo, Luis EnriqueAgüero, Mónica BeatrizHnilo, Alejandro AndrésKovalsky, Marcelo GregorioMICROMAQUINADO LASEROBLEAS DE SILICIOLASER DE ND:YAGLASER MICROMACHININGSILICON WAFERND:YAG LASEREn este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su controlIn this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effectFil: Rava, D.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. ArgentinaFil: Ferrero, Hugo Eduardo. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. ArgentinaFil: Fidalgo, Luis Enrique. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. ArgentinaFil: Agüero, Mónica Beatriz. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. ArgentinaFil: Hnilo, Alejandro Andrés. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. ArgentinaFil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. ArgentinaAsociación Física Argentina2014info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttps://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2014;02(25):91-95reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesinstacron:UBA-FCENspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar2025-09-29T13:40:27Zafa:afa_v25_n02_p091Institucionalhttps://digital.bl.fcen.uba.ar/Universidad públicaNo correspondehttps://digital.bl.fcen.uba.ar/cgi-bin/oaiserver.cgiana@bl.fcen.uba.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:18962025-09-29 13:40:28.043Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesfalse
dc.title.none.fl_str_mv Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results
title Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
spellingShingle Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
Rava, D.
MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
title_short Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
title_full Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
title_fullStr Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
title_full_unstemmed Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
title_sort Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
dc.creator.none.fl_str_mv Rava, D.
Ferrero, Hugo Eduardo
Fidalgo, Luis Enrique
Agüero, Mónica Beatriz
Hnilo, Alejandro Andrés
Kovalsky, Marcelo Gregorio
author Rava, D.
author_facet Rava, D.
Ferrero, Hugo Eduardo
Fidalgo, Luis Enrique
Agüero, Mónica Beatriz
Hnilo, Alejandro Andrés
Kovalsky, Marcelo Gregorio
author_role author
author2 Ferrero, Hugo Eduardo
Fidalgo, Luis Enrique
Agüero, Mónica Beatriz
Hnilo, Alejandro Andrés
Kovalsky, Marcelo Gregorio
author2_role author
author
author
author
author
dc.subject.none.fl_str_mv MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
topic MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
dc.description.none.fl_txt_mv En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control
In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect
Fil: Rava, D.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina
Fil: Ferrero, Hugo Eduardo. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina
Fil: Fidalgo, Luis Enrique. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Agüero, Mónica Beatriz. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Hnilo, Alejandro Andrés. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
Fil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina
description En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control
publishDate 2014
dc.date.none.fl_str_mv 2014
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
info:ar-repo/semantics/articulo
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
url https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
dc.source.none.fl_str_mv An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2014;02(25):91-95
reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron:UBA-FCEN
reponame_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
collection Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname_str Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron_str UBA-FCEN
institution UBA-FCEN
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
repository.mail.fl_str_mv ana@bl.fcen.uba.ar
_version_ 1844618685147250688
score 13.070432

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