Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado

Autores
Oliva, Marcos Iván; Zandalazini, Carlos Iván; Ferrero, Juan Carlos
Año de publicación
2008
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
Se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi -blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blanco
In this paper the instructions for making “camera-ready” contributions to ANALES AFA are presented. This document can be found via Internet in the home pages of the Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires www.unicen.edu.ar/crecic/analesafa under the appropiate choice
Fil: Oliva, Marcos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
Fil: Zandalazini, Carlos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
Fil: Ferrero, Juan Carlos. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2008;01(20):200-204
Materia
PORTABLANCOS
PELICULAS DELGADAS
DEPOSICION
LASER PULSADO
PROPIEDADES MAGNETICAS
MULTITARGET HOLDER
THIN FILMS
DEPOSITION
LASER PULSED
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
OAI Identificador
afa:afa_v20_n01_p200
Acceder
id BDUBAFCEN_1d54c0370d45d3595a44cb18fd67c765
oai_identifier_str afa:afa_v20_n01_p200
network_acronym_str BDUBAFCEN
repository_id_str 1896
network_name_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
spelling Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsadoDesing and construction of multitarget holder for pulsed laser deposition systemOliva, Marcos IvánZandalazini, Carlos IvánFerrero, Juan CarlosPORTABLANCOSPELICULAS DELGADASDEPOSICIONLASER PULSADOPROPIEDADES MAGNETICASMULTITARGET HOLDERTHIN FILMSDEPOSITIONLASER PULSEDSe desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi -blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blancoIn this paper the instructions for making “camera-ready” contributions to ANALES AFA are presented. This document can be found via Internet in the home pages of the Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires www.unicen.edu.ar/crecic/analesafa under the appropiate choiceFil: Oliva, Marcos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. ArgentinaFil: Zandalazini, Carlos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. ArgentinaFil: Ferrero, Juan Carlos. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. ArgentinaAsociación Física Argentina2008info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttps://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p200An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2008;01(20):200-204reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesinstacron:UBA-FCENspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar2025-09-11T10:18:37Zafa:afa_v20_n01_p200Institucionalhttps://digital.bl.fcen.uba.ar/Universidad públicaNo correspondehttps://digital.bl.fcen.uba.ar/cgi-bin/oaiserver.cgiana@bl.fcen.uba.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:18962025-09-11 10:18:38.355Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesfalse
dc.title.none.fl_str_mv Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
Desing and construction of multitarget holder for pulsed laser deposition system
title Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
spellingShingle Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
Oliva, Marcos Iván
PORTABLANCOS
PELICULAS DELGADAS
DEPOSICION
LASER PULSADO
PROPIEDADES MAGNETICAS
MULTITARGET HOLDER
THIN FILMS
DEPOSITION
LASER PULSED
title_short Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
title_full Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
title_fullStr Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
title_full_unstemmed Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
title_sort Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado
dc.creator.none.fl_str_mv Oliva, Marcos Iván
Zandalazini, Carlos Iván
Ferrero, Juan Carlos
author Oliva, Marcos Iván
author_facet Oliva, Marcos Iván
Zandalazini, Carlos Iván
Ferrero, Juan Carlos
author_role author
author2 Zandalazini, Carlos Iván
Ferrero, Juan Carlos
author2_role author
author
dc.subject.none.fl_str_mv PORTABLANCOS
PELICULAS DELGADAS
DEPOSICION
LASER PULSADO
PROPIEDADES MAGNETICAS
MULTITARGET HOLDER
THIN FILMS
DEPOSITION
LASER PULSED
topic PORTABLANCOS
PELICULAS DELGADAS
DEPOSICION
LASER PULSADO
PROPIEDADES MAGNETICAS
MULTITARGET HOLDER
THIN FILMS
DEPOSITION
LASER PULSED
dc.description.none.fl_txt_mv Se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi -blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blanco
In this paper the instructions for making “camera-ready” contributions to ANALES AFA are presented. This document can be found via Internet in the home pages of the Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires www.unicen.edu.ar/crecic/analesafa under the appropiate choice
Fil: Oliva, Marcos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
Fil: Zandalazini, Carlos Iván. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
Fil: Ferrero, Juan Carlos. Universidad Nacional de Córdoba - CONICET. Instituto de Investigaciones en Físico (INFIQC). Córdoba. Argentina
description Se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi -blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blanco
publishDate 2008
dc.date.none.fl_str_mv 2008
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
info:ar-repo/semantics/articulo
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p200
url https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p200
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
dc.source.none.fl_str_mv An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2008;01(20):200-204
reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron:UBA-FCEN
reponame_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
collection Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname_str Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron_str UBA-FCEN
institution UBA-FCEN
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
repository.mail.fl_str_mv ana@bl.fcen.uba.ar
_version_ 1842974960479371264
score 12.993085

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