Modos de operación, reflectividad, topografía y microanálisis EDS acompañados de simulaciones: resolviendo desafíos en el Servicio de Microscopía Electrónica de Barrido del Centro Atómico Bariloche - Troyón, Paula (2022)
En este trabajo, estudiamos los efectos de la interacción entre el haz de electrones que generan nuestros microscopios electrónicos de barrido y los distintos materiales y muestras recibidos, para poder describir los desafíos que plantea dicha interacción en forma de imagen y acompañado de un análisis de los resultados. Las imágenes y análisis presentados aquí fueron obtenidos en nuestros microscopios electrónicos de barrido FEI-INSPECT S50, y FEI NOVA NANO SEM 230. El primero es un SEM de emisión termoiónica dotado de detectores ETD, vCD, LFD y asociado a un detector EDS (EDAX) con una resolución nominal de 8 nm a 30 kV con modos de operación de alto y bajo vacío. El segundo es un SEM de emisión de campo dotado de detectores ETD, TLD, vCD, LFD, GAD, STEM y asociado a detectores EDS (EDAX) y EBSD (EDAX) con una resolución nominal de 1.6 nm a 15 kV. Este microscopio tiene modos de operación de alto y bajo vacío.