Simulación de ataque químico en sólidos cristalinos mediante modelos atomísticos discretos
- Autores
- Torres, Juan Pablo
- Año de publicación
- 2009
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- tesis de grado
- Estado
- versión aceptada
- Colaborador/a o director/a de tesis
- Aldao, Celso Manuel
- Descripción
- Este trabajo tiene como objetivo tratar un número de aspectos de la problemática de la evolución de la rugosidad en la superficie del silicio, tanto en los procesos de deposición como de ataque químico húmedo (etching), mediante modelos atomísticos discretos. Se hace énfasis especial en el estudio de las propiedades de Scaling de los modelos y en la obtención de los exponentes de Scaling. Para la simulación de los modelos se ha empleado la técnica de Monte Carlo. Finalmente, se analizaron las morfologías obtenidas en las simulaciones.
Fil: Torres, Juan Pablo. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería - Materia
-
Silicio
Ataque químico
Higiene y seguridad en el trabajo - Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
- Repositorio
- Institución
- Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería
- OAI Identificador
- oai:rinfi.fi.mdp.edu.ar:123456789/177
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Simulación de ataque químico en sólidos cristalinos mediante modelos atomísticos discretosTorres, Juan PabloSilicioAtaque químicoHigiene y seguridad en el trabajoEste trabajo tiene como objetivo tratar un número de aspectos de la problemática de la evolución de la rugosidad en la superficie del silicio, tanto en los procesos de deposición como de ataque químico húmedo (etching), mediante modelos atomísticos discretos. Se hace énfasis especial en el estudio de las propiedades de Scaling de los modelos y en la obtención de los exponentes de Scaling. Para la simulación de los modelos se ha empleado la técnica de Monte Carlo. Finalmente, se analizaron las morfologías obtenidas en las simulaciones.Fil: Torres, Juan Pablo. Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de IngenieríaAldao, Celso Manuel2009-12-29Thesisinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersioninfo:eu-repo/semantics/bachelorThesishttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1finfo:ar-repo/semantics/tesisDeGradoapplication/pdfhttp://rinfi.fi.mdp.edu.ar/handle/123456789/177spainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/reponame:Repositorio Institucional Facultad de Ingeniería - UNMDPinstname:Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingeniería2025-09-04T11:43:35Zoai:rinfi.fi.mdp.edu.ar:123456789/177instacron:FI-UNMDPInstitucionalhttps://rinfi.fi.mdp.edu.ar/Universidad públicahttps://www.fi.mdp.edu.ar/https://rinfi.fi.mdp.edu.ar/oai/snrdjosemrvs@fi.mdp.edu.arArgentinaopendoar:2025-09-04 11:43:35.962Repositorio Institucional Facultad de Ingeniería - UNMDP - Universidad Nacional de Mar del Plata. Facultad de Ingenieríafalse |
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