Propiedades estructurales de películas de Al Sn depositadas por ablación laser
- Autores
- De Rosa, Horacio Manuel; Zimmerman, Rosa; Perrone, Alessio; Zocco, Andrea
- Año de publicación
- 2000
- Idioma
- español castellano
- Tipo de recurso
- artículo
- Estado
- versión publicada
- Descripción
- El AlSn en forma de película delgada es uno de los sistemas metálicos binarios más usados para lubricación sólida. Sus propiedades tribológicas están fuertemente influídas por la estructura de la película y la morfología de la superficie. Si bien la técnica más difundida para la obtención de este compuesto es la de "magnetron sputtering" hemos utilizado por primera vez para su depósito el método de ablación laser por haz pulsado de alta potencia (PLD). Se estudió la estructura y morfologia de películas obtenidas por irradiación con un laser de XeCI (λ= 308 nm, T 30 ns.) de blancos rotatorio de AlSn de dos composiciones diferentes. Los depósitos se hicieron sobre Si (100). La caracterización de las películas se efectuó mediante SEM y EDX. Los resultados se compararon con los obtenidos por sputtering
Al Sn as a thin film is one of the metallic systems most frequently used so far for solid lubrication. Its tribological properties are strongly influenced by the structure of the film and the morphology of the surface. Although high rate magnetron sputtering is the technic most used, we have deposited for the first time Al Sn films by high pulsed laser ablation using a Xe Cl laser (λ= 308 nm, T= 30 ns.) Two different atomic composition of Al Sn bulk targets were used. Depositions were performed on Si (001). Characterization of the films was made by SEM and EDX. The results were compared with those obtained by sputtering
Fil: De Rosa, Horacio Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Laboratorio de Películas Delgadas. Buenos Aires. Argentina
Fil: Zimmerman, Rosa. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Laboratorio de Películas Delgadas. Buenos Aires. Argentina
Fil: Perrone, Alessio. Universita di Lecce. Dipartimento di Física. Lecce. Italia
Fil: Zocco, Andrea. Universita di Lecce. Dipartimento di Física. Lecce. Italia - Fuente
- An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2000;01(12):206-209
- Nivel de accesibilidad
- acceso abierto
- Condiciones de uso
- https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
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- Institución
- Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
- OAI Identificador
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