Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico

Autores
Otero, Gonzalo; Sánchez, Esteban Alejandro
Año de publicación
2002
Idioma
español castellano
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis
We studied the topographical changes on polycrystalline Al surfaces induced by 5 and 20 keV grazing Ar⁺ bombardment. At grazing incidence conditions the mechanism responsible for modification of surface topography is sputtering. The initial roughness of the surfaces (mechanical polished) can be removed by grazing Ar⁺ bombardment in the direction parallel to the beam path. For both studied energies (5 and 20 keV), this phenomenon is more important for low incidence angles and high doses
Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fuente
An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):176-179
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
Repositorio
Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
Institución
Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
OAI Identificador
afa:afa_v14_n01_p176
Acceder
id BDUBAFCEN_ab3ecc4f84761c9516e6b2120a581c14
oai_identifier_str afa:afa_v14_n01_p176
network_acronym_str BDUBAFCEN
repository_id_str 1896
network_name_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
spelling Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónicoOtero, GonzaloSánchez, Esteban AlejandroEn este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosisWe studied the topographical changes on polycrystalline Al surfaces induced by 5 and 20 keV grazing Ar⁺ bombardment. At grazing incidence conditions the mechanism responsible for modification of surface topography is sputtering. The initial roughness of the surfaces (mechanical polished) can be removed by grazing Ar⁺ bombardment in the direction parallel to the beam path. For both studied energies (5 and 20 keV), this phenomenon is more important for low incidence angles and high dosesFil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaFil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. ArgentinaAsociación Física Argentina2002info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501info:ar-repo/semantics/articuloapplication/pdfhttps://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):176-179reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesinstacron:UBA-FCENspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar2025-09-18T10:05:03Zafa:afa_v14_n01_p176Institucionalhttps://digital.bl.fcen.uba.ar/Universidad públicaNo correspondehttps://digital.bl.fcen.uba.ar/cgi-bin/oaiserver.cgiana@bl.fcen.uba.arArgentinaNo correspondeNo correspondeNo correspondeopendoar:18962025-09-18 10:05:04.906Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturalesfalse
dc.title.none.fl_str_mv Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
title Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
spellingShingle Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
Otero, Gonzalo
title_short Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
title_full Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
title_fullStr Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
title_full_unstemmed Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
title_sort Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
dc.creator.none.fl_str_mv Otero, Gonzalo
Sánchez, Esteban Alejandro
author Otero, Gonzalo
author_facet Otero, Gonzalo
Sánchez, Esteban Alejandro
author_role author
author2 Sánchez, Esteban Alejandro
author2_role author
dc.description.none.fl_txt_mv En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis
We studied the topographical changes on polycrystalline Al surfaces induced by 5 and 20 keV grazing Ar⁺ bombardment. At grazing incidence conditions the mechanism responsible for modification of surface topography is sputtering. The initial roughness of the surfaces (mechanical polished) can be removed by grazing Ar⁺ bombardment in the direction parallel to the beam path. For both studied energies (5 and 20 keV), this phenomenon is more important for low incidence angles and high doses
Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina
description En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis
publishDate 2002
dc.date.none.fl_str_mv 2002
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
info:ar-repo/semantics/articulo
format article
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176
url https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176
dc.language.none.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
eu_rights_str_mv openAccess
rights_invalid_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
publisher.none.fl_str_mv Asociación Física Argentina
dc.source.none.fl_str_mv An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):176-179
reponame:Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname:Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron:UBA-FCEN
reponame_str Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
collection Biblioteca Digital (UBA-FCEN)
instname_str Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
instacron_str UBA-FCEN
institution UBA-FCEN
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital (UBA-FCEN) - Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
repository.mail.fl_str_mv ana@bl.fcen.uba.ar
_version_ 1843608689717542912
score 13.000565

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